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臭氧又称富氧、三氧、超氧等。臭氧是一种有特殊腥味的蓝色气体，比重比空气大，化学式为O3，比氧分子多了一个活泼的氧原子，易分解，活泼性强。具有极强的氧化性。
臭氧的杀菌原理：空气中含有一定浓度的臭氧（2∽15ppm），对细菌、病毒等微生物内部结构有极强的氧化破坏性，可达到杀灭细菌繁殖体、芽孢、甲乙型肝炎病毒、真菌和原虫胞囊等各种细菌，还可以破坏肉毒杆菌的毒素及立克次氏体等。同时，臭氧还具有很强的除酶、去腥、除臭等有机异味的功能，臭氧可迅速杀灭空气中的细菌，在杀菌后还原成氧，没有任何残留和污染，被称为绿色环保杀菌剂。臭氧会自行分解，常温下大约三十分钟就变成氧气。臭氧是世界公认的广谱、高效杀灭菌剂。在灭菌消毒中名列榜首，具有极强消毒、灭菌、除臭和除异味的能力。
臭氧的安全性：在1-5ppm浓度下，人短时间逗留（1-2分钟内），几乎没有影响；若长时间（每天8小时）在臭氧环境下，浓度不应超过0.05ppm。